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该技术采用磁控溅射在不锈钢基底上堆积钛膜,并调查其相关性质及影响因数,确定适宜的条件参数,制得膜厚、附着力等功能都较好的薄膜,进而爲工业化大规模采用溅射制备薄膜资料提供参考数据。
这项技术曾经完成了等离子体溅射炉的研制任务,设计并取得了钢材外表镀钛膜的等离子体溅射炉;完成钢材外表等离子体溅射堆积镀钛膜的工艺条件探索,经过探索,取得了设备的根本功能。研讨了不同工艺参数对钢钛复合资料功能的影响;研讨了较优工艺参数对钢钛复合资料功能的影响;在固定其他工艺条件的前提下,对在钢材外表等离子体镀钛膜的各种工艺条件停止了优选实验,取得了各工艺的较优值,这些工艺条件辨别是:氩气流量爲20ml/min、功率112W、真空度1.0Pa、镀膜工夫100min、偏压150V、靶距35mm。在上述已优化出来的较优工艺条件下停止综合实验,研讨在较优工艺条件下制成商品外表及断面形貌,并对其耐腐蚀功能和钛膜在基材上的附着力停止表征,后果发现制成的钛膜镀层的耐腐蚀性、外表装饰性和附着力均到达预定目的,可以满足工程需求。
目前国内外上虽然有采用等离子体制备钛合金薄膜的研讨报道,但未见在真空条件上等离子体溅射镀钛制备钛膜不锈钢复合资料的研讨报道,因而该办法属首创。由于镀钛不锈钢复合资料在科技、国防和社会生活等方面的宏大使用前景,以及该项目效果与传统消费方式相比所具有的宏大劣势,使该项目具有普遍的使用前景。该技术属于国内外先进程度,限国内外转让。